Reaktory przeznaczone do osadzania warstw techniką ALD.
- osadzanie jednorodnych warstw konformalnych na podłożach i detalach 3D
- aktywacja prekursorów: termiczna i wspomagana plazmą
- wersje z i bez komory ładowania
- konfiguralna liczba linii gasowych i prekursorowych
- integracja z komorą rękawicową
- szybka diagnostyka in situ procesu
- osadzanie tlenków, azotków, metali
- do mikro- i nanoelektroniki, jako warstwy ochronne i optyczne
- modele do R&D oraz produkcji mało- i wieloskalowej
Skontaktuj się z dystrybutorem
Dystrybutor
LABSOFT Sp. z o.o.
- Adres: Puławska 469, 02-844 Warszawa
-
Nr telefonu: (+48 22) 853 27 93
- E-mail: info@labsoft.pl
- WWW: www.labsoft.pl
Przy kontakcie powołaj się na portal laboratoria.xtech.pl
RSS
