Interferometr laserowy

Miniaturowe interferometry firmy SIOS GmbH są przeznaczone do zastosowania w systemach metrologicznych, urządzeniach i instrumentach użytkownika. Służą one do bezkontaktowych i precyzyjnych pomiarów odległości wzdłuż jednej lub wielu osi z rozdzielczością do 0,1 nm oraz kątów z rozdzielczością do 0,01 arcsec. Zasada pomiaru wykorzystuje zjawisko interferencji – wiązka laserowa odbita od poruszającego się obiektu interferuje z wiązką referencyjną, a powstały obraz interferencyjny jest przeliczany w optoelektronicznym układzie przetwarzania na odległość. Pomiar kątów wymaga zastosowania co najmniej dwóch wiązek pomiarowych i polega na porównaniu różnicy dróg optycznych między nimi. Głowica pomiarowa interferometrów firmy SIOS jest sprzęgnięta światłowodowo z laserami He-Ne o stabilizowanej częstotliwości. Wpływy środowiska na pomiar są kompensowane poprzez korekcję długości fali. Urządzenia są obsługiwane z poziomu niezależnej klawiatury lub oprogramowania PC. Główne zastosowania to jako układy pomiarowe do stolików przesuwnych, mikroskopowych, pozycjonujących, obrabiarek, urządzeń do prób materiałowych oraz kalibracja instrumentów metrologicznych i bezkontaktowa profilometria powierzchni. Dostępnych jest wiele typów, które różnią się głównie geometrią, liczbą wiązek pomiarowych oraz zakresem pomiarowym, w tym sonda LM do pomiarów kontaktowych.

Serie: SP (1-wiązkowy, płaskie zwierciadło, zakres 100 lub 2000 mm), SP-D (2-wiązkowy, płaskie zwierciadło, 100 lub 2000 mm, ±2 arcmin), SP-TR (3-wiązkowy, płaskie zwierciadło, 100 lub 2000 mm, ±2 arcmin), SP-LR (1-wiązkowy, hollow reflector, 80 m), MI (1-wiązkowy, retroreflektor, 60, 150 lub 5000 mm), LM (20-50 mm)