MIKROSKOP SIŁ ATOMOWYCH DO INSTALACJI W SEM

LiteScope od Nenovision to moduł mikroskopu sił atomowych AFM do instalacji w mikroskopie SEM. Urządzenie wykonuje wysokorozdzielcze obrazy łączone SEM+AFM 3D. Urządzenie zbiera informacje zarówno z mikroskopu AFM jak i SEMa jednocześnie tworząc wspólny obraz próbki z nanometryczną dokładnością – CPEM (Correlative Probe and Electron Microscopy) w czasie rzeczywistym. Technologia CPEM umożliwia złożoną charakteryzację próbek poprzez korelację różnych kanałów AFM i SEM. Pochylona pozycja LiteScope pozwala na modyfikacje powierzchni przy użyciu technik FIB/GIS wewnątrz mikroskopu skaningowego, co jest kluczowe przy wrażliwych próbkach podatnych na utlenianie. Urządzenie pozwala na ocenę zmodyfikowanego profilu powierzchni i optymalizację procesu milingu FIB poprzez szacowanie szybkości odpylania i chropowatości w sposób natychmiastowy. AFM w SEM umożliwia analizę szerokiego zakresu właściwości takich jak:
• Właściwości mechaniczne materiału (topografia, lokalne właściwości sprężyste (tryb kontaktowy i tryb z przerywanym kontaktem), twardość próbki lokalnej (nietopograficzna), charakterystyka materiału zależna od głębokości oraz inne opcje in situ)
• Właściwości magnetyczne materiału
• Właściwości elektromechaniczne materiału
• Właściwości elektryczne materiału (mapa przewodności, lokalny potencjał powierzchniowy, lokalne właściwości elektryczne)
LiteScope znajduje zastosowanie w wielu dziedzinach takich jak: materiałoznawstwo, nanotechnologia, półprzewodniki, nauki przyrodnicze oraz inne dziedziny badań i przemysłu.