Litografia laserowa

Urządzenia służace do naświetlenia substancji światłoczułych przed procesem trawienia suchego lub mokrego. Alternatywa dla litografii optycznej. Litografia laserowa to proces mikrowytwarzania umożliwiający formowanie cienkich warstw lub większych fragmentów podłoża. Wykorzystuje ona światło do przenoszenia geometrycznego wzoru z fotomaski na światłowczułą fotomaskę chemiczną na podłożu. W litografii na laserze femtosekundowym ciekłe fotomaski są przekształcane do fazy stałej po wystawieniu na działanie promienia lasera femtosekundowego.