Komory próżniowe: Wyrzutnie jonowe

Wyrzutnie jonowe

Działo jonowe DJ-5 jest przeznaczone do rozpylania-trawienia jonowego wykorzysty­wa­nego w urządzeniach do analizy chemicznej powierzchni i badania profili koncentracji ciała stałego. Widok ogólny Działa DJ-5 wraz z zasilaczami przedstawiono poniżej.

Widok głowicy działa jonowego DJ-5 wraz z zasilaczami.

Dane techniczne

Parametry techniczne działa jonowego DJ-5:

Napięcie przyspieszające jony
100 - 4000 V

Maksymalna gęstość prądu
dla Ar^+ ok. 1,5•10^-4 A/cm^2

Maksymalny prąd całkowity
dla Ar^+ 3•10^-6 A

Minimalna średnica połówkowa wiązki jonów
0,5 mm (4000 V)
(w odległości 65 mm od końca działa)

Prąd elektronowy
2,5 mA, 10 mA, 30 mA

Napięcie przyspieszające elektrony
100 - 150 V

Zakres regulacji:

napięcia ogniskującego EO
90% - 60%

napięcia wyciągającego EW
95% - 65%

Napięcia odchylania wiązki jonów
±75 V

Rodzaj jonów
Ar^+, Xe+

Temperatura wygrzewania
520 K

Ciśnienie gazu w źródle jonów
10^-7…5•10^-5 hPa

Kołnierz montażowy
NW35CF

Instytut Tele- i Radiotechniczny, ul. Ratuszowa 11, 03-450 Warszawa

Laboratorium Badawczo-Pomiarowe Techniki Próżni, ul. Długa 44/50, 00-241 Warszawa

Dr Piotr Konarski, piotr.konarski@itr.org.pl

Więcej informacji >