ELIPSOMETR LASEROWY

SE 400adv to elipsometr laserowy z długością fali 632,8 nm (He-Ne) firmy Sentech Instruments GmbH.

To kompaktowe, łatwe w obsłudze urządzenie umożliwia precyzyjne wyznaczanie parametrów optycznych cienkich warstw (prostych i złożonych) i podłoży oraz grubości warstw. Maksymalna dopuszczalna grubość warstw przeźroczystych to 6 µm, a słabo pochłaniających to 2 µm. Ręczny goniometr pozwala na pomiary przy zmiennym kącie podania. Próbka jest pozycjonowana względem toru optycznego przy pomocy układu ACT, mikroskopu i opcjonalnej funkcji ogniskowania. Duża szybkość pomiaru oraz wysoka stabilność źródła światła pozwalają na zastosowanie urządzenia do monitorowania wzrostu warstw. Opcjonalne stoliki XY umożliwiają ręczne lub automatyczne mapowanie próbek. Zaawansowane oprogramowanie obsługuje proces pomiarowy oraz wykonuje obliczenia parametrów próbek z wykorzystaniem bogatej bazy z predefiniowanymi obiektami i stałymi materiałowymi.